Tescan - Detekce referenčních značek v obraze FIB/SEM

Detection of reference marks in the FIB / SEM image

smluvní výzkum

Detekce referenčních značek v obraze FIB/SEM

Předmětem díla je návrh a zhodnocení algoritmu pro přesnou a spolehlivou detekci referenční značky v obraze z mikroskopů SEM a FIB. Značka je tvořená prostým křížkem, vzor připraví TESCAN Brno, s.r.o. (dále TESCAN) v rámci první etapy. Značka může mít různou kvalitu a rozličná poškození. Fakulta informačních technologií (dále FIT) sestaví algoritmy a ověřovací software pro detekci této značky v obraze z mikroskopu SEM a FIB. Prvním krokem algoritmu je detekce značky v obraze, druhým krokem přesná lokalizace. První krok bude řešen pomocí jednoduchého detektoru, např. Boosted Soft Cascade, druhý krok vhodným algoritmem, např. pomocí konvoluční neuronové sítě. Pro srovnání bude použita i obvyklá technika detekce pomocí fázové korelace.

Zemčík Pavel, prof. Dr. Ing. (UPGM FIT VUT) , hlavní řešitel
Juránek Roman, Ing., Ph.D. (UPGM FIT VUT) , spoluřešitel